双(二乙基氨基)硅烷 , 99% (99.999%-Si)
Bis(diethylamino)silane, 99% (99.999%-Si) BDEAS PURATREM
分子式: SiH₂[N(CH₂CH₃)₂]
分子量: 174.36
纯度: 99% (99.999%-Si)
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基本信息
中文名称双(二乙基氨基)硅烷 | 英文名称Bis(diethylamino)silane, 99% (99.999%-Si) BDEAS PURATREM |
产品编号98-8810 | 分子式SiH₂[N(CH₂CH₃)₂] |
CAS号27804-64-4 | 分子量174.36 |
产品纯度99% (99.999%-Si) | |
安全信息
化学和物理性质
产品描述
Technical Notes:
1.AL D/CVD precursor for Si thin films
References: 1.J. Electrochem. Soc. 2008, 155, G163 2.ECS Transactions, 2011, 35, 191 3.J. Electrochem. Soc 2012. 159, H277 4.Chem. Vap. Deposition 2013 19, 125 5.IEEE Electron Device L ett. 2010, 31, 857 6.J. Vac. Sci. Technol. A, 2015, 33, 01A137 7.C hem. Mater. 2017.29, 4920 8.Plasma Process Polym. 2019, 16, 1 900032 9.Nanotechnology.2021 32. 075706 10.J. Vac. Sci. Technol. A. 2016, 34, 01A136
