三(二甲胺基)硅烷 , (99.999%-Si)
Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM, 14-8750, contained in 50 ml Swagelok® cylinder (96-1070) for CVD/ALD
分子式: [(CH₃)₂N]₃SiH
分子量: 161.32
纯度: (99.999%-Si)
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基本信息
中文名称三(二甲胺基)硅烷 | 英文名称Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM, 14-8750, contained in 50 ml Swagelok® cylinder (96-1070) for CVD/ALD |
产品编号98-4035 | 分子式[(CH₃)₂N]₃SiH |
CAS号15112-89-7 | 分子量161.32 |
产品纯度(99.999%-Si) | |
