三(二甲胺基)硅烷 , (99.999%-Si)
Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM, 14-8750, contained in 50 ml Swagelok® cylinder (96-1070) for CVD/ALD
分子式: [(CH₃)₂N]₃SiH
分子量: 161.32
纯度: (99.999%-Si)
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