产品大类

电子材料

为何选择二氟化氙（XeF₂）？

二氟化氙（XeF₂）作为一种高选择性气相刻蚀剂，在聚焦离子束（FIB）系统与半导体失效分析中展现出独特优势：

✔ 低温高效刻蚀（室温即可反应，无需等离子体辅助）

✔ 超强材料选择性（对硅/多晶硅刻蚀速率快，对金属/介质层几乎无损伤）

✔ 各向同性刻蚀（无晶向依赖性，适合复杂结构加工）

✔ 无残留污染（反应产物为挥发性气体，避免再沉积）

核心应用场景

1. 芯片电路编辑与失效分析

作用机理：XeF₂与硅反应生成气态四氟化硅（SiF₄），实现纳米级精准刻蚀;

典型应用：芯片线路的定点切断或导通修复,存储器件（DRAM/3D NAND）的剖面制备，晶体管栅极结构的暴露与观测。

2. MEMS器件释放加工

技术优势：可穿透窄缝刻蚀底层硅（深宽比＞10:1），避免机械应力损伤（对比DRIE工艺），保护铝/铜互连层完整性。

3. 先进封装缺陷检测

解决方案：TSV（硅通孔）的无损剖面制备，芯片堆叠结构的层间剥离分析，焊球/微凸点的界面缺陷暴露。

我们为您提供稳定可靠的供货保障，确保产品品质始终如一。专业的技术团队随时为您提供支持，解决各类应用问题。无论是研发需求还是生产供应，我们都能给予快速响应和持续保障。选择我们，您将获得值得信赖的长期合作伙伴关系。

产品列表

品名	CAS	货号
Xenon difluoride, 99.5% 二氟代氙	13709-36-9	393777
Xenon difluoride 二氟化氙	13709-36-9	PC8020

为您配套其他相关试剂

品名	CAS	货号
Platinum ICP Standard, 1000 μg/mL in 10% Hydrochloric acid 铂ICP标准溶液（标准品）	7440-06-4	ICP-42H-1
Ruthenium ICP Standard, 1000 μg/mL in 10% Hydrochloric acid 钌ICP标准溶液（标准品）	7440-18-8	ICP-48H-1
Iridium ICP Standard, 1000 μg/mL in 10% Hydrochloric acid 铱ICP标准品	7439-88-5	ICP-26H-1^促
Indium ICP Standard, 1000 μg/mL in 2-5% Nitric Acid 铟ICP标准品	7440-74-6	ICP-25N-1
Arsenic ICP Standard, 1000 μg/mL in 2-5% Nitric Acid 砷ICP检测用标准品	7440-38-2	ICP-03N-1 危化品
Cadmium ICP-MS Standard, 1000 μg/mL in 2-5% Nitric Acid 镉ICP-MS测镉标准品,2%硝酸溶液	7440-43-9	ICP-MS-08N-0.1X-1 危化品
Custom ICP Standard 10 μg/mL in Water - 95% Nitric acid - 5% Hydrochloric acid - tr 定制4种金属元素内标（Ge、Rh、In、Re），10ppm水-95%硝酸-5%盐酸-tr（HJ1315）	/	IS-104353-1
Custom ICP Standard @ 100 μg/mL in 5% Nitric acid, tr. Hydrofluoric acid 16种ICP混标，100 μg/mL溶于硝酸含微量HF（EN 71）	/	IS-23946-100X-1
Cesium ICP-MS Standard, 1000 μg/mL in 2-5% Nitric Acid 铯（标准品）	7440-46-2	ICP-MS-12N-0.1X-1 危化品
Chromium ICP Standard, 1000 μg/mL in 2-5% Nitric Acid 铬ICP标准溶液（标准品）	7440-47-3	ICP-13N-R-1
Hafnium ICP Standard, 1000 μg/mL in 2-5% Nitric Acid, tr Hydrofluoric acid 铪ICP检测用标准品	7440-58-6	ICP-23N-1^促危化品
Ammonium chloride, 99.5%, for synthesis 氯化铵	12125-02-9	138328
Hydrofluoric acid, 40%, for analysis 氢氟酸	7664-39-3	906416 危化品
Ethylenediaminetetraacetic acid disodium salt dihydrate, 99%, AR 乙二胺四乙酸二钠盐二水合物	6381-92-6	966999

耗材

品名	CAS	货号
PE bottles, 100ml, 16 pcs/pack PE 直口瓶	/	991183
Narrow-mouth bottles, 500ml, 10 pcs/pack 小口瓶	/	2751052

智慧实验室

品名	CAS	货号
Smart Hazardous Chemical Management CabinetHCAF-400, Container size: 900 * 500 * 1980mm, internal size: 650 * 420 * 1550mm, volume 423L RFID自净化酸碱柜HCAF-400	/	9410145
RFID Management Terminal HCMT-05, 550mm420mm485mm RFID管理终端机HCMT-05	/	9410452