双（叔丁基氨基）硅烷，97+％BTBAS , (99.999%-Si)
Bis(t-butylamino)silane, BTBAS (99.999%-Si) PURATREM
分子式: C?H??N?Si
分子量: 174.36
纯度: (99.999%-Si)
| 包装 | 库存 | 价格 | |
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暂无数据 | |||
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基本信息
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化学和物理性质
产品描述
Technical Notes:
1. ALD low te mperature precursor for the silicon oxide and silicon nitride thin film de position
References:
1. Solid State Technol., 2000, 43, 79.
2.J Electrochem. Soc. 2005 152 G316
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4.J. Phys. Chem. c.2016 120 10927
5.Acs Appl. Mater. Interfaces 2017 9, 42928 Appl Phys Lett. 2015 10Z. 014102
6.Chem. Mater. 2016 28 5864
7.Acs Appl Mater. Interfaces 2017 9 1858
