光刻胶核心材料全解析：百灵威一站式解决方案赋能微纳制造
时间: 2026-01-12
作者: 百灵威
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光刻胶，或称光致抗蚀剂，是一种对光、电子束等辐射敏感的功能性高分子材料。在光照下，其溶解度发生显著变化，通过后续显影工艺，可将掩模版上的二维图形精确复制到基片表面的三维薄膜上，是微电子制造中图形转移的核心媒介。一套高性能的光刻胶配方，是多种功能材料协同作用的结果。光刻胶，作为光刻工艺的“画笔”，其性能直接决定了集成电路、显示面板等产业中微细图形的精度与良率。它的高效运作依赖于一个精密的材料体系：包括构筑骨架的单体、引发光化学反应的光引发剂与光致产酸剂、调节性能的添加剂，以及最终实现图形化的显影剂等。
百灵威（J&K Scientific）凭借丰富的产品线与高纯度标准，为光刻胶的研发与生产提供从基础单体到专用化学品的一站式材料解决方案，助力客户攻克尖端工艺挑战。从基础单体到高性能产酸剂，从精密添加剂到高纯显影剂，光刻胶的每一个环节都对材料纯度、一致性和功能性提出了极致要求。百灵威深度洞察产业链需求，构建了覆盖光刻胶全材料链条的完善产品矩阵，选择百灵威，不仅是选择产品，更是选择一份对精度与创新的承诺。 我们致力于以稳定的高品质材料，赋能每一道工艺，共同绘制微纳世界的精密蓝图。
一、光刻胶用单体：构建性能的基石
单体是合成光刻胶树脂的基石，其结构决定了光刻胶的基础物理化学性质，如成膜性、硬度、耐蚀刻性和附着力。百灵威提供种类丰富、纯度高达99%以上的光刻胶用单体及中间体，是您进行分子设计与合成的可靠伙伴。
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Butyl acrylate, 99.5%, stabilized with MEHQ 丙烯酸丁酯 | 141-32-2 | 101097 危化品 |
| 3-(Trimethoxysilyl)propyl methacrylate, 98% 3-(三甲氧基甲硅基)甲基丙烯酸丙酯 | 2530-85-0 | 175528 |
| Isobornyl acrylate, 93%, stabilized with 200 - 400 ppm MEHQ 丙烯酸异冰片酯 | 5888-33-5 | 396012 |
| Trichloro(1H,1H,2H,2H-perfluorooctyl)silane, 97% 三氯(1H,1H,2H,2H-全氟辛基)硅烷 | 78560-45-9 | 549606 |
| 3-Mercaptopropyltrimethoxysilane, 97% 3-巯基丙基三甲氧基硅烷 | 4420-74-0 | 180573 |
| Methyl methacrylate, 99% 甲基丙烯酸甲酯 | 80-62-6 | 153563 危化品 |
| Bicyclo[2.2.1]hepta-2,5-diene, 97% 双环[2.2.1]庚-2,5-二烯 | 121-46-0 | 499281 危化品 |
| 1,1,1,3,3,3-Hexafluoroisopropyl acrylate, 99%, stabilized with MEHQ 1,1,1,3,3,3-六氟异丙基 丙烯酸酯 | 2160-89-6 | 443905 |
| 1,1,1,3,3,3-Hexafluoroisopropyl methacrylate, 99% 1,1,1,3,3,3-六氟异丙基 甲基丙烯酸酯 | 3063-94-3 | 472949 |
| 1-Methylcyclopentyl acrylate, 99%, electronic grade, single metal ion ≤ 50ppb 1-丙烯酸甲基环戊酯 | 178889-49-1 | 1418044 |
| 2-Oxotetrahydrofuran-3-yl methacrylate, 99%, electronic grade, single metal ion:<10pppb 甲基丙烯酸2-氧代四氢呋喃-3-基酯 | 195000-66-9 | 1603694 |
| 1-Isopropylcyclohexyl methacrylate, 99%, electronic grade, single metal ion:<10pppb 1-异丙基-1-环己醇甲基丙烯酸酯 | 811440-77-4 | 2133895 |
| 1-Ethylcyclohexylacrylate, 99%, electronic grade, single metal ion ≤ 50ppb 1-乙基丙稀酸环己酯 | 251909-25-8 | 2133920 |
二、光引发剂
主要用于自由基聚合型光刻胶。吸收光能后产生活性自由基，引发单体聚合固化。
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Benzoin methyl ether, 98% 安息香甲基醚 | 3524-62-7 | 528064 |
| Diphenyl(2,4,6-trimethylbenzoyl)phosphine oxide, 99% (2,4,6-三甲基苯甲酰基)二苯基氧化膦 | 75980-60-8 | 567999 |
| 1-Hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 99% 1-羟基环己基苯基甲酮 | 947-19-3 | 330139 |
| 2,2-Dimethoxy-2-phenylacetophenone, 99% 2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮 | 24650-42-8 | 543244 |
| 2,2-Diethoxyacetophenone, 97% 2,2-二乙氧基苯乙酮 | 6175-45-7 | 131709 |
| Phenylbis(2,4,6-trimethylbenzoyl)phosphine oxide, 97% 苯基双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)氧化膦 | 162881-26-7 | 903535新 |
三、光致产酸剂
是现代化学放大光刻胶的关键。曝光后产生强酸（如磺酸），催化树脂发生脱保护、交联等催化链式反应，从而实现极高的灵敏度。
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| 2-(4-Methoxystyryl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 98% 2-(4-甲氧基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪 | 42573-57-9 | 305170 |
| 4-Isopropyl-4'-methyldiphenyliodonium tetrakis(pentafluorophenyl)borate, 98% 4-异丙基-4'-甲基二苯基碘鎓四(五氟苯基)硼酸盐 | 178233-72-2 | 247054 |
| Bis(4-tert-butylphenyl)iodonium triflate, 98% 双(4-叔丁基苯基)碘鎓三氟甲磺酸盐 | 84563-54-2 | 512472 |
| Diphenyliodonium hexafluorophosphate, 98% 六氟磷酸二苯基碘鎓盐 | 58109-40-3 | 523434 |
| Diphenyliodonium nitrate, 97% 二苯基碘鎓硝酸盐 | 722-56-5 | 517519 |
| Diphenyliodonium triflate, 98% 二苯基碘鎓三氟甲磺酸盐 | 66003-76-7 | 485359 |
| Bis(4-(tert-butyl)phenyl)Iodonium chloride, 99% 二(4-叔丁基苯基)氯化碘 | 5421-53-4 | 1744185 |
| Triphenylsulfonium triflate, 99% 三苯基硫三氟甲烷磺酸盐 | 66003-78-9 | 591988 |
三、光刻胶添加剂：性能的“精调师”
添加剂虽占比小，却能精准调控光刻胶的工艺适应性及最终图形质量。
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Tetramethylammonium hydroxide, 25% solution in H2O 四甲基氢氧化铵 | 75-59-2 | 457936 危化品 |
| 1-Methoxy-2-propanol, 99.5%, for synthesis, mixture of isomers 1-甲氧基-2-丙醇 | 107-98-2 | 426529促 |
| 4-Hydroxybenzophenone, 99% 4-羟基二苯甲酮 | 1137-42-4 | 277043 |
| 9-Fluorenylmethyl carbamate, 98% 氨基甲酸(9-芴基甲基)酯 | 84418-43-9 | 277506 |
| Tris(2-carboxyethyl) isocyanurate, 99% 三(2-羧乙基)异氰脲酸酯 | 2904-41-8 | 989420 |
四、光刻胶显影剂：图形化的“裁决者”
显影剂通过选择性溶解，将曝光形成的潜像转化为肉眼可见的物理图形。其纯度与组成直接决定图形的分辨率、侧壁形貌和缺陷率。
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| 3038 Photoresist developer, 2.380 ± 0.01wt%, high-purity, main component TMAH 3038正胶显影液 | / | 9393345新 |
| Negative gel developer FX-A, 95%, High purity 负胶显影液FX-A | / | 9393343 |
| Negative adhesive rinsing solution FP-A, 99.8%, High purity 负胶漂洗液FP-A | / | 9393344 |
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