精密薄膜沉积专用前体材料系统
时间: 2025-06-12
作者: 百灵威
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本产品组合提供半导体制造和功能材料研发所需的高纯度化学沉积前体，涵盖贵金属、稀土元素及III-V族化合物前驱体，满足精密薄膜沉积工艺需求。
化学气相沉积与原子层沉积前体
乙酰丙酮铑和（三甲基）甲基环戊二烯基铂(IV)提供高纯度贵金属前体，适用于导电层沉积。四(二甲氨基)锆和乙醇钽是优质高k介质前体，具有优异的热稳定性。
双(六氟乙酰丙酮)合铜(II)和乙酰丙酮镓(III)适用于III-V族半导体沉积。三(甲基环戊二烯)钇和三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)镝(III)提供高纯度稀土金属源，适合功能薄膜制备。
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Rhodium(III) acetylacetonate, 97+% (99.9%-Rh) 乙酰丙酮铑 | 14284-92-5 | 45-1800促 |
| Xenon(II) fluoride, 99.5% 二氟化氙 | 13709-36-9 | 54-1500 |
| Bismuth(III) chloride, anhydrous, 99+% (99.9+%-Bi) 氯化铋 | 7787-60-2 | 93-8314 |
| Tetrakis(dimethylamino)zirconium(IV), 99% TDMAZ 四(二甲氨基)锆 | 19756-04-8 | 40-4100促 |
| Bis(cyclopentadienyl)magnesium (99.99+%-Mg) PURATREM 双（环戊二烯）镁 | 1284-72-6 | 97-1040 |
| (Trimethyl)methylcyclopentadienylplatinum(IV), 99% (99.999%-Pt) PURATREM （三甲基）甲基环戊二烯基铂（IV），99％（99.999％-Pt） | 94442-22-5 | 98-1350 |
| Bis(ethylmethylamino)silane, 99%, BEMAS (99.999%-Si) PURATREM 双（乙基甲基氨基）硅烷，99%， (99.999%-Si) | 1011514-41-2 | 14-1550 |
| Tantalum(V) ethoxide (99.99+%-Ta) PURATREM 乙醇钽 | 6074-84-6 | 93-7303促 |
| 1,3,5,7-Tetramethylcyclotetrasiloxane, 99% 1,3,5,7-四甲基环四硅氧烷 | 2370-88-9 | 984609 |
| Copper(II) hexafluoroacetylacetonate, anhydrous, elec. gr. (99.99+%-Cu) PURATREM 双(六氟乙酰丙酮)合铜(II) | 14781-45-4 | 29-2928 |
| Gallium(III) acetylacetonate, 99% 乙酰丙酮镓(III) | 14405-43-7 | 153452 |
| Tris(methylcyclopentadienyl)yttrium (99.9%-Y) (REO) 三(甲基环戊二烯)钇 | 329735-72-0 | 39-5050 |
| Tris(dimethylamino)antimony (99.99%-Sb) PURATREM 三(二甲氨基)锑 | 7289-92-1 | 51-5000 |
| Tris(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato)dysprosium(III), 98+% (99.9%-Dy) (REO) [Dy(TMHD)?] 三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)镝(III), 98% | 15522-69-7 | 66-8500 |
| Bis(tri-isopropylcyclopentadienyl)strontium 98% 双(三异丙基环戊二烯基)锶,98％ | 147658-82-0 | 38-1200 |
耗材
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Microscope slides , Plain, 7101 premium grade, Ground edges, 45° corners 显微镜载玻片 | / | 2750448 |
| Iron test tube clamp, large, with handle, chromed 铁试管夹 | / | 9076573 |
| 304 Stainless Steel Micro Spoon, 220mm, one end spoon, and the other end flat 304不锈钢微量药勺 | / | 905598 |
百灵威智慧实验室
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| RFID-Electronic Digital Scale HCES-05, 200*235*80mm RFID电子秤HCES-05 | / | 9410146 |
| RFID Management Terminal HCMT-05, 550mm*420mm*485mm RFID管理终端机HCMT-05 | / | 9410452 |
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