产品介绍

    (三甲基)甲基环戊二烯合铂(IV)（化学式：Pt(MeCp)(CH₃)₃，CAS号：94442-22-5）是一种高纯度有机铂化合物，专为化学气相沉积（CVD）工艺设计。其特性包括：

分子结构：以环戊二烯基（Cp）和三个甲基配体稳定铂中心，实现低温挥发性和高反应活性平衡。

物理性质：白色至淡黄色晶体，升华温度80-120°C（低压条件下），适合精确控温沉积。

纯度等级：≥99.99%（金属杂质＜10 ppm），确保薄膜电学性能一致性。

在CVD领域的核心应用

1、铂薄膜沉积

作用机制：

    在H₂或O₂氛围中热分解，释放铂原子并在基板（如硅、二氧化硅）表面形成致密铂膜：

    Pt(MeCp)(CH₃)₃ → Pt (film) + 有机副产物（气态）

典型应用：

    半导体电极（DRAM、FeRAM存储元件）。

    微机电系统（MEMS）导电层。

2、合金与复合膜制备

与有机铜/钌前驱体共沉积，生成Pt-Cu/Pt-Ru合金膜（用于燃料电池催化剂层）。

3、纳米结构定向生长

通过等离子体增强CVD（PE-CVD）调控，制备铂纳米线/点阵列（传感器、催化载体）。

技术亮点

低温高效：匹配热敏感基板（如聚合物柔性电子）。

高选择性：与SiO₂/SiNx表面反应活性差异大，便于图案化沉积。

副产物可控：分解生成甲烷等小分子气体，易被真空系统排除。

工艺适配性

设备兼容：适用于常规热CVD、ALD及脉冲CVD系统。

气氛灵活：可在还原性（H₂）、惰性（Ar）或弱氧化性（O₂/N₂O）条件下工作。

应用案例

逻辑芯片：28nm以下制程的局部互连铂阻挡层。

医疗器件：冠状动脉支架的超薄抗凝血铂涂层。

百灵威稳定供应三甲基(甲基环戊二烯基)合铂产品，可购前试用服务，对有需求的客户提供钢瓶清洗服务，满足客户从实验室研发到工业化生产的不同需求。

产品列表

品名	CAS	货号
Trimethyl(methylcyclopentadienyl)platinum(IV), 99% 三甲基(甲基环戊二烯基)合铂(IV)	94442-22-5	218004
(Trimethyl)methylcyclopentadienylplatinum(IV), 99% (三甲基)甲基环戊二烯合铂(IV)	94442-22-5	78-1350

为您配套其他相关试剂:

品名	CAS	货号
Tungsten hexacarbonyl, 99% 六羰基钨	14040-11-0	194282
Bis(cyclopentadienyl)cobalt(II), 98% 双(环戊二烯)钴	1277-43-6	964056新
Antimony(III) chloride, 99% 氯化锑(III)	10025-91-9	496657 危化品
3,3',3''-Phosphinetriyltris(propan-1-ol), 80% 三(3-羟基丙基)膦	4706-17-6	969970新
Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV), 99% 四(二甲胺基)铪	19782-68-4	622857新
Tetrakis(dimethylamido)tin(IV), 99.9%, trace metal basis 四(二甲氨基)锡(IV)	1066-77-9	542675
DimethylAminopropyl-Dimethyl Indium, 98%, ≥99.99% metal basis, for CVD/ALD, please refer to the details page for ordering and cleaning cylinder [3-(二甲氨基)丙基]二甲基铟	120441-92-1	999241
(t-Butylimido)tris(diethylamino)tantalum(V), 98%, ≥99.99% metal basis, for CVD/ALD, please refer to the details page for ordering and cleaning cylinder 三(二乙氨基)(叔丁基亚氨基)钽(V)	169896-41-7	289272
Bis(diethylamino)silane, 98%, ≥99.99% metal basis, for CVD/ALD, please refer to the details page for ordering and cleaning cylinder 二(二乙氨基)硅烷	27804-64-4	957403
Tris(dimethylamino)gallium(III) dimer, 98% 三(二甲胺基)镓(III)二聚体	57731-40-5	626076
Hexamethyldisilane, 98%, reagent grade 六甲基二硅烷	1450-14-2	985468 危化品

配套产品:

品名	CAS	货号
50ml Standard cylinder, Suitable for the vast majority of domestic equipments 50mL标准钢瓶	/	9395115
60ml Standard cylinder, Suitable for the equipment of Picosun 60mL标准钢瓶	/	9395123
Swagelok? Cylinder Assembly, 50ml with 1/4 VCR Male Bellows-Sealed Valve (High Temp) and Female Nut for CVD/ALD Swagelok® 气缸, 50ml, 带1/4“VCR外波纹管密封阀(高温)和母螺母,用于CVD / ALD	/	96-1071

实验耗材:

品名	CAS	货号
Antibacterial polycotton laboratory coats, L（170-175cm，60-70kg） 涤棉抗菌实验服	/	966163
Latex tube, I.D. 5 mm, O.D. 10 mm, thickness 2.5 mm, 10 m/pack 乳胶管	/	9066547

智慧实验室

品名	CAS	货号
FindMolecule ELN, Academic Basic ELN电子记录本系统服务	/	9269008
FindMolecule IMS, Academic Basic 实验室库存管理系统服务	/	9269003
Smart Hazardous Chemical Management Cabinet HCA00, Container size: 900 * 500 * 1980mm, internal size: 650 * 420 * 1550mm, volume 423L RFID酸碱柜HCA-400	/	9410144

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