彻底改变CVD/ALD工艺,ALD前体有现货!-百灵威

彻底改变CVD/ALD工艺,ALD前体有现货!

特色产品

Strem # 78-1350

(Trimethyl)methylcyclopentadienylplatinum(IV), 99%

(三甲基)甲基环戊二烯合铂(IV) , 99%

CAS # 94442-22-5

78-1350是用于通过CVD、ALD和FEBID沉积铂薄膜的混合烷基环戊二烯基前体,部分原因是其简单性(仅C、H和Pt)、挥发性和中等分解温度。

我们的技术说明中提供了热行为、其他数据和参考资料。

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