氢溴酸：半导体先进制程的精密蚀刻专家-百灵威

在半导体制造工艺持续向3nm、2nm节点推进的今天，氢溴酸(HBr)凭借其卓越的蚀刻精度和工艺可控性，已成为先进芯片制造不可或缺的核心材料。作为全球领先的电子级化学品供应商，我们致力于为半导体行业提供超高纯度氢溴酸解决方案，助力客户突破制程极限。

纳米级蚀刻精度：可实现<5nm的蚀刻线宽控制

优异的选择比：SiO₂/Si选择比高达100:1以上

工艺稳定性：批次间蚀刻速率差异<2%

超高纯度：金属杂质含量<0.1ppb

1. FinFET和GAA晶体管制造

在3D晶体管结构中，氢溴酸等离子体蚀刻技术展现出无可比拟的优势：

栅极侧壁精确成形：各向异性蚀刻实现75°-85°的理想侧壁角度

鳍片轮廓控制：表面粗糙度<1nm RMS

低损伤工艺：衬底损伤层厚度<2nm

2. 存储器件制造

技术指标对比：

参数	传统工艺	氢溴酸工艺	提升幅度
蚀刻均匀性	±8%	±3%	62.5%
关键尺寸控制	±4nm	±1.5nm	62.5%
缺陷密度	0.15/cm²	0.05/cm²	66.7%

3. 先进封装应用

我们的氢溴酸解决方案在以下封装工艺中表现卓越：

铜柱凸块清洗：去除率>99.9%，基底零损伤

硅通孔(TSV)处理：深宽比可达20:1

晶圆级封装：提高15%的界面结合强度

我们建立了行业领先的氢溴酸质量控制体系：

原材料筛选：采用光伏级多晶硅副产氢溴酸为原料

纯化工艺：四级精馏+0.05μm超滤

品名	CAS	货号
Hydrobromic acid, 48 wt.% solution in H2O 氢溴酸	10035-10-6	957452 危化品
Hydrobromic acid, for synthesis, 48 wt.% solution in H2O 氢溴酸	10035-10-6	987251 危化品
Hydrobromic acid, 40%, for analysis 氢溴酸	10035-10-6	972822 危化品

品名	CAS	货号
Trimethyl(methylcyclopentadienyl)platinum(IV), 99% 三甲基(甲基环戊二烯基)合铂(IV)	94442-22-5	218004
Tungsten hexacarbonyl, 99% 六羰基钨	14040-11-0	194282
Tris(3-hydroxypropyl)phosphine, min. 84% 三(3-羟基丙基)膦	4706-17-6	15-6375^促
Negative adhesive rinsing solution FP-A, 99.8%, High purity 负胶漂洗液FP-A	/	9393344
Negative gel developer FX-A, 95%, High purity 负胶显影液FX-A	/	9393343
3038 Photoresist developer, 2.380 ± 0.01wt%, high-purity, main component TMAH 3038正胶显影液	/	9393345^新
Nickel plating solution, electroless 镍电镀液, 无电镀	/	044069
(2-Methyl-3-phenyltetrahydro-5-isoxazolyl)methanol	19345-02-9	044070
Benzoin methyl ether, 98% 安息香甲基醚	3524-62-7	528064
Diphenyl(2,4,6-trimethylbenzoyl)phosphine oxide, 99% (2,4,6-三甲基苯甲酰基)二苯基氧化膦	75980-60-8	567999
Hydrofluoric acid, HF:48.8-49.2 %, ELH-I 氢氟酸	7664-39-3	990529 危化品
Ethanol, 99.9%, EHL-II 乙醇	64-17-5	981866 危化品
Methanol, 99.9%, ELH-II 甲醇	67-56-1	934255 危化品
Aluminum oxide, polishing compound 氧化铝, 抛光	1344-28-1	039807

品名	CAS	货号
Special HPLC column for betel nut, 250×4.6 mm, 5 μm, 120 Å, pH 2-7.5 槟榔专用液相色谱柱	/	2467381
Special HPLC column for lactose, 300×4.6 mm, 5 μm, 120 Å, pH 2-7.5 乳糖专用液相色谱柱	/	2467383
C18-Pro HPLC column, 250×4.6 mm, 5 μm, 200 Å, pH 3-7.5 C18-Pro 液相色谱柱	/	2467391

品名	CAS	货号
Smart Hazardous Chemical Management CabinetHCAF-400, Container size: 900 * 500 * 1980mm, internal size: 650 * 420 * 1550mm, volume 423L RFID自净化酸碱柜HCAF-400	/	9410145
Smart Hazardous Chemical Management Cabinet HCEF00, Full cabinet size: 900 * 500 * 1980mm, internal size: 650 * 420 * 1550mm, volume 423L RFID自净化防火柜HCEF-400	/	9410143
FindMolecule IMS, Academic Pro. 实验室库存管理系统服务	/	9269005