甲基丙烯酸正丁酯（BMA）：光刻胶精密图形化的高性能单体-百灵威

在半导体制造工艺持续迈向更精细节点的今天，光刻胶作为图形转移的核心材料，其性能直接决定着芯片的制程精度。甲基丙烯酸正丁酯（BMA）作为一种高性能丙烯酸酯单体，正以其独特的分子特性为光刻胶技术带来突破性进展。

产品核心优势

精密图形化：支持130nm以下线宽工艺

高灵敏度：曝光能耗降低40%

优异热稳定性：耐受200℃以上后烘温度

宽工艺窗口：适应多种显影条件

关键技术解析

1. 分子结构设计优势

BMA分子中的正丁酯基团完美平衡了：

溶解性调控：疏水性烷基链（C4）确保未曝光区抗刻蚀性

极性转换：曝光后酯基水解实现显影选择性

空间位阻：适中的侧链长度避免分子缠结

2. 配方协同效应

与甲基丙烯酸共聚：调节显影速率

搭配苯乙烯衍生物：增强耐刻蚀性

优化PAG配伍性：提高酸扩散控制

我们确保BMA的高纯度稳定供应，并提供定制化合成服务，满足不同工艺需求。从实验室研发到工业化生产，我们提供专业的技术支持与完善的供应链保障，助您高效推进项目。

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产品列表如下：

品名 CAS 货号
Butyl methacrylate, 99%, stabilized with MEHQ
甲基丙烯酸正丁酯 97-88-1 387793
危化品

为您配套其他相关试剂

品名 CAS 货号
3-(Trimethoxysilyl)propyl methacrylate, 98%
3-(三甲氧基甲硅基)甲基丙烯酸丙酯 2530-85-0 175528

Isobornyl acrylate, 93%, stabilized with 200 - 400 ppm MEHQ
丙烯酸异冰片酯 5888-33-5 396012

Trichloro(1H,1H,2H,2H-perfluorooctyl)silane, 97%
三氯(1H,1H,2H,2H-全氟辛基)硅烷 78560-45-9 549606

3-Mercaptopropyltrimethoxysilane, 97%
3-巯基丙基三甲氧基硅烷 4420-74-0 180573

1,1,1,3,3,3-Hexafluoroisopropyl acrylate, 99%, stabilized with MEHQ
1,1,1,3,3,3-六氟异丙基丙烯酸酯 2160-89-6 443905

Tetramethylammonium hydroxide, 25% solution in H2O
四甲基氢氧化铵 75-59-2 457936
危化品
1-Methoxy-2-propanol, 99.5%, for synthesis, mixture of isomers
1-甲氧基-2-丙醇 107-98-2 426529^促

2-(4-Methoxystyryl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 98%
2-(4-甲氧基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪 42573-57-9 305170

4-Isopropyl-4'-methyldiphenyliodonium tetrakis(pentafluorophenyl)borate, 98%
4-异丙基-4'-甲基二苯基碘鎓四(五氟苯基)硼酸盐 178233-72-2 247054

Bis(4-tert-butylphenyl)iodonium triflate, 98%
双(4-叔丁基苯基)碘鎓三氟甲磺酸盐 84563-54-2 512472

Benzoin methyl ether, 98%
安息香甲基醚 3524-62-7 528064

Diphenyl(2,4,6-trimethylbenzoyl)phosphine oxide, 99%
(2,4,6-三甲基苯甲酰基)二苯基氧化膦 75980-60-8 567999

1-Hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 99%
1-羟基环己基苯基甲酮 947-19-3 330139

2,2-Diethoxyacetophenone, 97%
2,2-二乙氧基苯乙酮 6175-45-7 131709

2,2-Dimethoxy-2-phenylacetophenone, 99%
2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮 24650-42-8 543244

耗材

品名 CAS 货号
PTFE dry powder spoon, 3 ml
聚四氟乙烯干粉勺 / 9076382

PTFE Stirring Rod, L: 250 mm, O.D.:7mm, agitating vane: 55mm
聚四氟乙烯搅拌棒 / 2749987

智慧实验室

品名 CAS 货号
FindMolecule ELN, Industry
ELN电子记录本系统服务 / 9269007

FindMolecule IMS, Industry
实验室库存管理系统服务 / 9269006

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Isobornyl acrylate, 93%, stabilized with 200 - 400 ppm MEHQ 丙烯酸异冰片酯	5888-33-5	396012
Trichloro(1H,1H,2H,2H-perfluorooctyl)silane, 97% 三氯(1H,1H,2H,2H-全氟辛基)硅烷	78560-45-9	549606
3-Mercaptopropyltrimethoxysilane, 97% 3-巯基丙基三甲氧基硅烷	4420-74-0	180573
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Tetramethylammonium hydroxide, 25% solution in H2O 四甲基氢氧化铵	75-59-2	457936 危化品
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2-(4-Methoxystyryl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 98% 2-(4-甲氧基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪	42573-57-9	305170
4-Isopropyl-4'-methyldiphenyliodonium tetrakis(pentafluorophenyl)borate, 98% 4-异丙基-4'-甲基二苯基碘鎓四(五氟苯基)硼酸盐	178233-72-2	247054
Bis(4-tert-butylphenyl)iodonium triflate, 98% 双(4-叔丁基苯基)碘鎓三氟甲磺酸盐	84563-54-2	512472
Benzoin methyl ether, 98% 安息香甲基醚	3524-62-7	528064
Diphenyl(2,4,6-trimethylbenzoyl)phosphine oxide, 99% (2,4,6-三甲基苯甲酰基)二苯基氧化膦	75980-60-8	567999
1-Hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 99% 1-羟基环己基苯基甲酮	947-19-3	330139
2,2-Diethoxyacetophenone, 97% 2,2-二乙氧基苯乙酮	6175-45-7	131709
2,2-Dimethoxy-2-phenylacetophenone, 99% 2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮	24650-42-8	543244

品名	CAS	货号
PTFE dry powder spoon, 3 ml 聚四氟乙烯干粉勺	/	9076382
PTFE Stirring Rod, L: 250 mm, O.D.:7mm, agitating vane: 55mm 聚四氟乙烯搅拌棒	/	2749987

品名	CAS	货号
FindMolecule ELN, Industry ELN电子记录本系统服务	/	9269007
FindMolecule IMS, Industry 实验室库存管理系统服务	/	9269006