西湖仪器突破碳化硅加工技术，我司晶圆产品赋能产业降本增效-百灵威

近日，西湖大学孵化的西湖仪器成功实现 12 英寸碳化硅衬底激光剥离自动化，大幅降损提速，推动碳化硅行业降本增效。

碳化硅性能优越，在高温、高电压下稳定工作，是新能源和半导体产业升级的关键材料，广泛应用于电动汽车、光伏发电等领域。但因其硬度高，加工一直是难题。此次西湖仪器的激光剥离技术，定位精准、加工均匀，材料损耗减半，出片速度大增。据预测，2027 年全球碳化硅功率器件市场规模将达 67 亿美元，2030 年 AR 智能眼镜市场规模或超 3000 亿美元，碳化硅前景广阔。

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在此机遇下，我司晶圆产品优势显著：

1、供应稳：先进设备与完善供应链，保障大小订单按时交付。

2、质量优：严格把控生产各环节，关键指标达行业领先。

3、定制强：依客户需求定制产品，适配生产工艺，节省成本。

4、支持全：专业团队快速响应，解决使用中技术问题。

1、石墨烯晶圆

产品名称	货号	产品详情
单层单晶石墨烯晶圆，衬底为蓝宝石，粗糙度：<1 nm，4英寸	9426669	1. 尺寸：4 inch 2. 粗糙度：<1 nm 3. 单层覆盖率：>99% 4. 石墨烯覆盖率：>99% 5.面电阻：<300 Ω/sq （SiO2/Si 衬底）
单层单晶石墨烯晶圆，衬底为蓝宝石，粗糙度：<1 nm，6英寸	9426670	1. 尺寸：4 inch 2. 粗糙度：<1 nm 3. 单层覆盖率：>99% 4. 石墨烯覆盖率：>99% 5.面电阻：<300 Ω/sq （SiO2/Si 衬底）
无转移高品质石墨烯晶圆，衬底为蓝宝石，1层（单层率90%以上），透光率85.7%，2英寸	9426699	1层（单层率90%以上）透光率（可见光波段）：87.5% 面电阻（Ω/Sq）：低于1500
无转移高品质石墨烯晶圆，衬底为蓝宝石，1层（单层率90%以上），透光率85.7%，4英寸	9426700	1层（单层率90%以上）透光率（可见光波段）：87.5% 面电阻（Ω/Sq）：低于1500
无转移高品质石墨烯晶圆，衬底为蓝宝石，1层（单层率90%以上），透光率85.7%，6英寸	9426701	1层（单层率90%以上）透光率（可见光波段）：87.5% 面电阻（Ω/Sq）：低于1500
无转移石墨烯晶圆，衬底为蓝宝石，3-5层，2英寸，1 EA=10 pcs	9426702	3-5层透光率（可见光波段）：81.1-76.5% 面电阻（Ω/Sq）：低于3000
无转移石墨烯晶圆，衬底为蓝宝石，5-7层，4英寸，1 EA=10 pcs	9426703	5-7层透光率（可见光波段）：76.5-71.9% 面电阻（Ω/Sq）：低于3000
无转移石墨烯晶圆，衬底为蓝宝石，5-7层，6英寸，1 EA=3 pcs	9426704	5-7层透光率（可见光波段）：76.5-71.9% 面电阻（Ω/Sq）：低于3000
无转移石墨烯晶圆，衬底为蓝宝石，8-10层，8英寸	9426705	8-10层透光率（可见光波段）：76.5-71.9% 面电阻（Ω/Sq）：低于3000
无转移石墨烯晶圆，衬底为SiO2/Si，面电阻低于3000，2英寸，1 EA=10 pcs	9426706	面电阻（Ω/Sq）：低于3000
无转移石墨烯晶圆，衬底为SiO2/Si，面电阻低于3000，4英寸，1 EA=10 pcs	9426707	面电阻（Ω/Sq）：低于3000
无转移石墨烯晶圆，衬底为SiO2/Si，面电阻低于3000，6英寸，1 EA=3 pcs	9426708	面电阻（Ω/Sq）：低于3000
无转移石墨烯晶圆，衬底为SiO2/Si，面电阻低于3000，8英寸	9426709	面电阻（Ω/Sq）：低于3000
无转移石墨烯晶圆，衬底为石英，面电阻低于3000，12英寸	9426710	面电阻（Ω/Sq）：低于3000
无转移石墨烯晶圆，衬底为石英，面电阻低于3000，2英寸，1 EA=10 pcs	9426711	3-5层透光率（可见光波段）：81.1-76.5% 面电阻（Ω/Sq）：低于3000
无转移石墨烯晶圆，衬底为石英，面电阻低于3000，4英寸，1 EA=10 pcs	9426712	5-7层透光率（可见光波段）：76.5-71.9% 面电阻（Ω/Sq）：低于3000
无转移石墨烯晶圆，衬底为石英，面电阻低于3000，6英寸，1 EA=3 pcs	9426713	5-7层透光率（可见光波段）：76.5-71.9% 面电阻（Ω/Sq）：低于3000

2、石墨烯薄膜

产品名称	货号	产品详情
单层单晶石墨烯薄膜，单晶铜箔外延单晶石墨烯，1cm×1cm	9426671	1. 单晶铜箔外延单晶石墨烯 2. 铜箔厚度：28 μm 3. 晶面：Cu(111) 4. 石墨烯覆盖度：> 99% 5. 石墨烯单层率：> 95% 6. 面电阻：400 ± 50 Ω/sq （SiO2/Si 衬底）
单层单晶石墨烯薄膜，单晶铜箔外延单晶石墨烯，2cm×2cm	9426672	1. 单晶铜箔外延单晶石墨烯 2. 铜箔厚度：28 μm 3. 晶面：Cu(111) 4. 石墨烯覆盖度：> 99% 5. 石墨烯单层率：> 95% 6. 面电阻：400 ± 50 Ω/sq （SiO2/Si 衬底）
单层单晶石墨烯薄膜，单晶铜箔外延单晶石墨烯，3cm×3cm	9426673	1. 单晶铜箔外延单晶石墨烯 2. 铜箔厚度：28 μm 3. 晶面：Cu(111) 4. 石墨烯覆盖度：> 99% 5. 石墨烯单层率：> 95% 6. 面电阻：400 ± 50 Ω/sq （SiO2/Si 衬底）
单层单晶石墨烯薄膜，单晶铜箔外延单晶石墨烯，4cm×4cm	9426674	1. 单晶铜箔外延单晶石墨烯 2. 铜箔厚度：28 μm 3. 晶面：Cu(111) 4. 石墨烯覆盖度：> 99% 5. 石墨烯单层率：> 95% 6. 面电阻：400 ± 50 Ω/sq （SiO2/Si 衬底）
单层单晶石墨烯薄膜，单晶铜箔外延单晶石墨烯，5cm×5cm	9426675	1. 单晶铜箔外延单晶石墨烯 2. 铜箔厚度：28 μm 3. 晶面：Cu(111) 4. 石墨烯覆盖度：> 99% 5. 石墨烯单层率：> 95% 6. 面电阻：400 ± 50 Ω/sq （SiO2/Si 衬底）
单层单晶石墨烯薄膜，单晶铜箔外延单晶石墨烯，10cm×10cm	9426676	1. 单晶铜箔外延单晶石墨烯 2. 铜箔厚度：28 μm 3. 晶面：Cu(111) 4. 石墨烯覆盖度：> 99% 5. 石墨烯单层率：> 95% 6. 面电阻：400 ± 50 Ω/sq （SiO2/Si 衬底）
单层多晶石墨烯薄膜，衬底为铜箔，铜单晶畴区尺寸 Cuds：Cuds < 9 cm2，1cm×1cm	9426677	1.铜单晶畴区尺寸 Cuds：Cuds < 9 cm2 2. 铜箔厚度：28 μm，50μm 3. 石墨烯覆盖度：> 99% 4. 石墨烯单层率：> 90% 5. 石墨烯最大畴区尺寸：500 μm 6. 面电阻：300-500 Ω/sq（SiO2/Si衬底）
单层多晶石墨烯薄膜，衬底为铜箔，铜单晶畴区尺寸 Cuds：Cuds < 9 cm2，2cm×2cm	9426678	1.铜单晶畴区尺寸 Cuds：Cuds < 9 cm2 2. 铜箔厚度：28 μm，50μm 3. 石墨烯覆盖度：> 99% 4. 石墨烯单层率：> 90% 5. 石墨烯最大畴区尺寸：500 μm 6. 面电阻：300-500 Ω/sq（SiO2/Si衬底）
单层多晶石墨烯薄膜，衬底为铜箔，铜单晶畴区尺寸 Cuds：Cuds < 9 cm2，5cm×5cm	9426679	1.铜单晶畴区尺寸 Cuds：Cuds < 9 cm2 2. 铜箔厚度：28 μm，50μm 3. 石墨烯覆盖度：> 99% 4. 石墨烯单层率：> 90% 5. 石墨烯最大畴区尺寸：500 μm 6. 面电阻：300-500 Ω/sq（SiO2/Si衬底）
单层多晶石墨烯薄膜，衬底为铜箔，铜单晶畴区尺寸 Cuds：Cuds < 9 cm2，10cm×10cm	9426680	1.铜单晶畴区尺寸 Cuds：Cuds < 9 cm2 2. 铜箔厚度：28 μm，50μm 3. 石墨烯覆盖度：> 99% 4. 石墨烯单层率：> 90% 5. 石墨烯最大畴区尺寸：500 μm 6. 面电阻：300-500 Ω/sq（SiO2/Si衬底）
单层多晶石墨烯薄膜，衬底为铜箔，铜单晶畴区尺寸 Cuds：Cuds < 9 cm2，10cm×20cm	9426681	1.铜单晶畴区尺寸 Cuds：Cuds < 9 cm2 2. 铜箔厚度：28 μm，50μm 3. 石墨烯覆盖度：> 99% 4. 石墨烯单层率：> 90% 5. 石墨烯最大畴区尺寸：500 μm 6. 面电阻：300-500 Ω/sq（SiO2/Si衬底）
单层多晶石墨烯薄膜，衬底为铜箔，铜单晶畴区尺寸 Cuds：Cuds < 9 cm2，21cm×29.7cm	9426682	1.铜单晶畴区尺寸 Cuds：Cuds < 9 cm2 2. 铜箔厚度：28 μm，50μm 3. 石墨烯覆盖度：> 99% 4. 石墨烯单层率：> 90% 5. 石墨烯最大畴区尺寸：500 μm 6. 面电阻：300-500 Ω/sq（SiO2/Si衬底）
单层多晶石墨烯薄膜，衬底为铜箔，铜单晶畴区尺寸 Cuds：Cuds < 9 cm2，29.7cm×42cm	9426683	1.铜单晶畴区尺寸 Cuds：Cuds < 9 cm2 2. 铜箔厚度：28 μm，50μm 3. 石墨烯覆盖度：> 99% 4. 石墨烯单层率：> 90% 5. 石墨烯最大畴区尺寸：500 μm 6. 面电阻：300-500 Ω/sq（SiO2/Si衬底）

3、石墨烯转移膜

产品名称	货号	产品详情
石墨烯转移膜，单层单晶石墨烯薄膜转移到PET衬底，2cm×2cm	9426690	单层单晶石墨烯薄膜转移到PET衬底
石墨烯转移膜，单层单晶石墨烯薄膜转移到PET衬底，5cm×5cm	9426691	单层单晶石墨烯薄膜转移到PET衬底
石墨烯转移膜，单层单晶石墨烯薄膜转移到PET衬底，10cm×10cm	9426692	单层单晶石墨烯薄膜转移到PET衬底
石墨烯转移膜，单层单晶石墨烯薄膜转移到PET衬底，2cm×2cm	9426693	单层多晶石墨烯薄膜转移到PET衬底
石墨烯转移膜，单层单晶石墨烯薄膜转移到PET衬底，5cm×5cm	9426694	单层多晶石墨烯薄膜转移到PET衬底
石墨烯转移膜，单层单晶石墨烯薄膜转移到PET衬底，10cm×10cm	9426695	单层多晶石墨烯薄膜转移到PET衬底
石墨烯转移膜，单层单晶石墨烯薄膜转移到硅衬底，2cm×2cm	9426684	单层单晶石墨烯薄膜转移到硅衬底
石墨烯转移膜，单层单晶石墨烯薄膜转移到硅衬底，5cm×5cm	9426685	单层单晶石墨烯薄膜转移到硅衬底
石墨烯转移膜，单层单晶石墨烯薄膜转移到硅衬底，10cm×10cm	9426686	单层单晶石墨烯薄膜转移到硅衬底
石墨烯转移膜，单层单晶石墨烯薄膜转移到硅衬底，2cm×2cm	9426687	单层多晶石墨烯薄膜转移到硅衬底
石墨烯转移膜，单层单晶石墨烯薄膜转移到硅衬底，5cm×5cm	9426688	单层多晶石墨烯薄膜转移到硅衬底
石墨烯转移膜，单层单晶石墨烯薄膜转移到硅衬底，10cm×10cm	9426689	单层多晶石墨烯薄膜转移到硅衬底
晶圆级石墨烯转移膜，石墨烯晶圆级薄膜转移到硅衬底，2cm×2cm	9426696	石墨烯晶圆级薄膜转移到硅衬底
晶圆级石墨烯转移膜，石墨烯晶圆级薄膜转移到硅衬底，4cm×4cm	9426697	石墨烯晶圆级薄膜转移到硅衬底
晶圆级石墨烯转移膜，石墨烯晶圆级薄膜转移到硅衬底，Four inches	9426698	石墨烯晶圆级薄膜转移到硅衬底

西湖仪器突破碳化硅加工技术，我司晶圆产品赋能产业降本增效

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