用于聚焦电子束诱导沉积（FEBID）的钌前体-百灵威

使用聚焦电子束诱导沉积（FEBID），可实现三维金属纳米结构的独立生长。此化学气相沉积（CVD）过程在扫描电子显微镜（SEM）中进行，其中电子束提供的能量作为“笔”，易挥发的前体充当“墨水”，即金属源，从而实现各种金属的“书写”，包括银Ag、金Au、钴Co、铁Fe和钨W^[1-5] 。

(η<sup>3</sup>-allyl)Ru(CO)<sub>3</sub>Br<br><br>

(η³-allyl)Ru(CO)₃Br

沉积物纯度在很大程度上取决于前体的化学性质。通常，优先选含碳量低的金属有机化合物，以增加纳米结构中的金属含量。已知羰基基团在电子辐照下很容易弹出，而环戊二烯基配体是较差的离去基团^[5]。将 (η³-allyl)Ru(CO)₃Br成功引入FEBID，作为(EtCp)₂Ru替代品，在形成气体处理后产生的金属纯度可达83％^[2]。

(η³-allyl)Ru(CO)₃Br前体还可用于紫外光诱导的辅助式CVD。这种低温过程可实现钌Ru在自组装单层膜（SAMs）和聚合物等有机表面上的生长^[6-7]。

参考文献：

Eur. Phys. J. D 2019, 73, 227

ACS Appl. Mater. Interfaces 2019, 11, 28164

Phys. Chem. Chem. Phys. 2017, 19, 13264

Eur. Phys. J. D 2016, 70, 164

J. Phys. Chem. C ,2015, 119, 15349−15359

Organometallics 2019, 38, 4363

J. Chem. Phys. 2017, 146, 052816

Bis(ethylcyclopentadienyl)ruthenium(II), 98% (99.9%-Ru)

双(乙基环戊二烯基)钌(II) , (99.9%-Ru)

产品编号： 44-0040 | CAS： 32992-96-4 | 品牌： Strem

Bis(ethylcyclopentadienyl)ruthenium(II), 98% (99.9%-Ru), 44-0040, contained in 50 ml Swagelok? cylinder (96-1070) for CVD/ALD

双(乙基环戊二烯基)钌(II) , (99.9%-Ru)

产品编号： 98-4009 | CAS： 32992-96-4 | 品牌： Strem

Bis(ethylcyclopentadienyl)ruthenium(II), 98% (99.9%-Ru), 44-0040, contained in high-temp 50 ml Swagelok? cylinder (96-1071) for CVD/ALD

双(乙基环戊二烯基)钌(II) , (99.9%-Ru)

产品编号： 98-4067 | CAS： 32992-96-4 | 品牌： Strem

Allylruthenium(II) tricarbonyl bromide, 98%

烯丙基钌(II)三羰基溴化物,98％ , 98%

产品编号： 44-5150 | CAS： 31781-74-5 | 品牌： Strem