精密薄膜沉积用金属有机前驱体系统设计-百灵威

本前驱体系统针对高效太阳能电池薄膜沉积工艺开发，精选多种金属有机化合物。材料具有优异的挥发性和热稳定性，适用于精密薄膜沉积。该组合满足不同功能层的制备需求，确保薄膜质量与性能。

化学气相沉积与原子层沉积前体

环戊二烯基钴和二环戊二烯基合铁提供过渡金属沉积选择。(三甲基)甲基环戊二烯合铂(IV)和乙酰丙酮铂适用于贵金属薄膜沉积。乙醇钽是优质氧化物沉积前体。三(二甲胺基)镓(III)二聚体和三甲基胂为III-V族材料提供前体。六甲基二硅烷和1,3,5,7-四甲基环四硅氧烷适用于硅基薄膜沉积。三异丙氧基氧化钒是优质氧化物ALD前体。六氟乙酰丙酮铜和双(六氟乙酰丙酮)合铜(II)兼具CVD/ALD适用性。乙酰丙酮镓(III)和四氯化硅满足多种沉积需求。三(环戊二烯)钇(III)为稀土掺杂提供选择。

品名	CAS	货号
Bis(cyclopentadienyl)cobalt(II), min. 98% (Cobaltocene) 环戊二烯基钴	1277-43-6	27-0475
Copper(II) hexafluoroacetylacetonate hydrate, elec. gr. (99.99+%-Cu) PURATREM 六氟乙酰丙酮铜	155640-85-0	29-2929
Bis(pentamethylcyclopentadienyl)iron, 99% 二环戊二烯基合铁	12126-50-0	26-0400
Tris(cyclopentadienyl)yttrium (99.9%-Y) (REO) 三(环戊二烯)钇(III),	1294-07-1	39-5000
(Trimethyl)methylcyclopentadienylplatinum(IV), 99% (三甲基)甲基环戊二烯合铂(IV)	94442-22-5	78-1350
Tantalum(V) ethoxide (99.99+%-Ta) PURATREM 乙醇钽	6074-84-6	93-7303^促
1,3,5,7-Tetramethylcyclotetrasiloxane, 99% 1,3,5,7-四甲基环四硅氧烷	2370-88-9	984609
Copper(II) hexafluoroacetylacetonate, anhydrous, elec. gr. (99.99+%-Cu) PURATREM 双(六氟乙酰丙酮)合铜(II)	14781-45-4	29-2928
Gallium(III) acetylacetonate, 99% 乙酰丙酮镓(III)	14405-43-7	153452
Tris(dimethylamino)gallium(III) dimer, 98% 三(二甲胺基)镓(III)二聚体	57731-40-5	626076
Hexamethyldisilane, 98% 六甲基二硅烷	1450-14-2	590635 危化品
Vanadium (V) tri-i-propoxy oxide, 98+% VTIP 三异丙氧基氧化钒	5588-84-1	23-5000
Trimethylarsine, 99% 三甲基胂	593-88-4	33-3750
Silicon(IV) chloride, fiber optic grade (99.9999%-Si, 50ppm-Fe) PURATREM 四氯化硅/四氯硅烷	10026-04-7	98-0147 危化品
Platinum(II) acetylacetonate, 98% 乙酰丙酮铂	15170-57-7	78-1400

耗材

品名	CAS	货号
Laboratory consumables, 15ml centrifuge tube sterilization tip bottom, 1PAK=500 pieces 实验室耗材, 15ml 离心管灭菌尖底, 1PAK＝500个	/	9401474
Centrifuge tubes, 1.5 mL, yellow, 500 tubes/pack 离心管	/	1438762
Slide storage boxes, 25-place slide boxes, ABS, foam lining, 5.5 x 3.75 x 1.25 in 玻片盒	/	2668620

百灵威智慧实验室

品名	CAS	货号
Bio-Vanguard® Antibacterial, mould and antiviral textile finishing agent 清萨灵®抗菌防霉抗病毒织物整理剂	/	926620
Smart Hazardous Chemical Management CabinetHCAF-400, Container size: 900 * 500 * 1980mm, internal size: 650 * 420 * 1550mm, volume 423L RFID自净化酸碱柜HCAF-400	/	9410145
Antibacterial 100% Cotton laboratory coats, men, M (165~170cm, 50-60 kg), long-sleeved 抗菌纯棉实验服	/	9307384

精密薄膜沉积用金属有机前驱体系统设计

化学气相沉积与原子层沉积前体

耗材

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