高活性金属有机薄膜沉积前驱体材料研究-百灵威

本前驱体材料体系专为太阳能电池薄膜沉积工艺设计，涵盖多种高纯度金属有机化合物。这些材料适用于化学气相沉积(CVD)和原子层沉积(ALD)工艺，能够精确调控薄膜组成和结构。该组合为高效太阳能电池的制备提供了可靠的材料基础。

化学气相沉积与原子层沉积前体

叔丁醇锆(IV)和乙醇钽(V)是优质氧化物沉积前体，具有良好挥发性和热稳定性。双(N,N-二仲丁基乙脒基)二铜(I)适用于铜基薄膜的低温沉积。三(丁基环戊二烯)钇(III)为稀土掺杂提供了理想前体选择。六甲基二硅烷和双(二乙基氨基)硅烷是高效硅基薄膜沉积前体。三(二甲氨基)锑和双(叔丁基亚氨基)双(二甲基氨基)钨(VI)提供精确的组分控制能力。乙酰丙酮铈三水合物和乙酰丙酮铬适用于氧化物薄膜的低温ALD工艺。三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)镝(III)兼具CVD和ALD适用性。双(三异丙基环戊二烯基)锶为碱土金属氧化物沉积提供新选择。三(3-羟基丙基)膦可作为掺杂剂前体或表面修饰剂。

品名	CAS	货号
Zirconium(IV) tert-butoxide, 99%, 99.99%-Zr 叔丁醇锆(IV)	2081-12-1	911030
Tantalum(V) ethoxide, 99% 乙醇钽(V)	6074-84-6	938530
Hexamethyldisilane, 98%, reagent grade 六甲基二硅烷	1450-14-2	985468 危化品
Zirconium(IV) t-butoxide (99.99%-Zr) PURATREM 叔丁醇锆	2081-12-1	40-1750^促
Tris(3-hydroxypropyl)phosphine, min. 84% 三(3-羟基丙基)膦	4706-17-6	15-6375^促
Tris(butylcyclopentadienyl)yttrium (99.9%-Y) (REO) 三(丁基环戊二烯)钇(III)	312739-77-8	39-4950
Bis(N,N'-di-sec-butylacetamidinato)dicopper(I), 99% 双(N,N-二仲丁基乙脒基)二铜(I)	695188-31-9	29-7100
Tris(i-propylcyclopentadienyl)cerium(III) (99.9%-Ce) (REO) 三(异丙基环戊二烯)铈	122528-16-9	58-8000^促
Cerium(III) acetylacetonate trihydrate, 99% 乙酰丙酮铈三水合物	15653-01-7	582904
Bis(diethylamino)silane, 99% (99.999%-Si) BDEAS PURATREM 双(二乙基氨基)硅烷	27804-64-4	98-8810
Tris(dimethylamino)antimony (99.99%-Sb) PURATREM 三(二甲氨基)锑	7289-92-1	51-5000
Tris(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato)dysprosium(III), 98+% (99.9%-Dy) (REO) [Dy(TMHD)?] 三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)镝(III), 98%	15522-69-7	66-8500
Bis(tri-isopropylcyclopentadienyl)strontium 98% 双(三异丙基环戊二烯基)锶,98％	147658-82-0	38-1200
Bis(t-butylimido)bis(dimethylamino)tungsten(VI), min. 97% BTBMW 双(叔丁基亚氨基)双(二甲基氨基)钨(VI)	406462-43-9	74-1225
Chromium(III) acetylacetonate, 97.5% 乙酰丙酮铬	21679-31-2	24-0160

耗材

品名	CAS	货号
Wooden test tube clamp 木试管夹	/	9076572
Iron test tube clamp, large, with handle, chromed 铁试管夹	/	9076573
201 Stainless steel lab jacks, 150×150×250 mm 201不锈钢升降台	/	956619

百灵威智慧实验室

品名	CAS	货号
Bio-Vanguard® Antimicrobial Rinse-free Foaming Hand Sanitizer 清萨灵®泡沫抗菌免水洗手液	/	965255
Antibacterial 100% Cotton laboratory coats, men, XXL (≥180 cm, ≥80 kg), long-sleeved 抗菌纯棉实验服	/	9307385
Smart Hazardous Chemical Management Cabinet HCA00, Container size: 900 * 500 * 1980mm, internal size: 650 * 420 * 1550mm, volume 423L RFID酸碱柜HCA-400	/	9410144

高活性金属有机薄膜沉积前驱体材料研究

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