二甲基二氯硅烷：纳米芯片光刻工艺的界面增强解决方案-百灵威

在纳米级芯片制造的战场上，光刻胶与衬底的“粘附力”直接决定图形成败。二甲基二氯硅烷（(CH₃)₂SiCl₂），这一经典有机硅化合物，正以高效增粘、广谱兼容、快速成膜的特性，成为高端光刻工艺中不可或缺的界面改性利器！

核心优势

✅ 强力附着力提升

通过硅烷化反应，在SiO₂、金属等衬底表面形成疏水保护层，显著减少光刻胶剥离（Peeling）和图形坍塌（Collapse）。

尤其适用于深紫外（DUV）和极紫外（EUV）光刻胶，助力3nm以下制程良率提升。

✅ 多场景兼容性

不仅适配传统硅基衬底，更在铜互连层、金属氧化物光刻胶（HfO₂/ZrO₂）等新兴材料体系中表现优异。

是三维集成（TSV）、异质封装等先进工艺的可靠选择。

✅ 工艺灵活性高

支持气相沉积和溶液处理，快速成膜（秒级反应），无缝对接现有光刻生产线。

成本效益显著，较部分进口硅烷偶联剂降低20%以上。

应用场景

逻辑/存储芯片制造：解决高深宽比结构的图形转移难题。

先进封装：增强RDL（重布线层）中光刻胶与介质的结合力。

科研创新：为新型光刻胶（金属基、纳米压印）提供界面优化方案。

产品列表如下：

品名	CAS	货号
Dichlorodimethylsilane, 99.3% 二甲基二氯硅烷	75-78-5	191866 危化品

为您配套其他相关试剂

品名	CAS	货号
3-(Trimethoxysilyl)propyl methacrylate, 98% 3-(三甲氧基甲硅基)甲基丙烯酸丙酯	2530-85-0	175528
Isobornyl acrylate, 93%, stabilized with 200 - 400 ppm MEHQ 丙烯酸异冰片酯	5888-33-5	396012
Trichloro(1H,1H,2H,2H-perfluorooctyl)silane, 97% 三氯(1H,1H,2H,2H-全氟辛基)硅烷	78560-45-9	549606
3-Mercaptopropyltrimethoxysilane, 97% 3-巯基丙基三甲氧基硅烷	4420-74-0	180573
Tetramethylammonium hydroxide, 25% solution in H2O 四甲基氢氧化铵	75-59-2	457936 危化品
1-Methoxy-2-propanol, 99.5%, for synthesis, mixture of isomers 1-甲氧基-2-丙醇	107-98-2	426529^促
4-Hydroxybenzophenone, 99% 4-羟基二苯甲酮	1137-42-4	277043
2-(4-Methoxystyryl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 98% 2-(4-甲氧基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪	42573-57-9	305170
4-Isopropyl-4'-methyldiphenyliodonium tetrakis(pentafluorophenyl)borate, 98% 4-异丙基-4'-甲基二苯基碘鎓四(五氟苯基)硼酸盐	178233-72-2	247054
Bis(4-tert-butylphenyl)iodonium triflate, 98% 双(4-叔丁基苯基)碘鎓三氟甲磺酸盐	84563-54-2	512472
Benzoin methyl ether, 98% 安息香甲基醚	3524-62-7	528064
Diphenyl(2,4,6-trimethylbenzoyl)phosphine oxide, 99% (2,4,6-三甲基苯甲酰基)二苯基氧化膦	75980-60-8	567999
1-Hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 99% 1-羟基环己基苯基甲酮	947-19-3	330139
1,1,1,3,3,3-Hexafluoroisopropyl acrylate, 99%, stabilized with MEHQ 1,1,1,3,3,3-六氟异丙基丙烯酸酯	2160-89-6	443905
1,1,1,3,3,3-Hexafluoroisopropyl methacrylate, 99% 1,1,1,3,3,3-六氟异丙基甲基丙烯酸酯	3063-94-3	472949

耗材

品名	CAS	货号
50-Position centrifuge tube boxes, PP, for1.5 ml, 2ml centrifuge tubes 50孔离心管盒	/	9186956
Laboratory consumables, 15ml centrifuge tube sterilization tip bottom, 1PAK=500 pieces 实验室耗材, 15ml 离心管灭菌尖底, 1PAK＝500个	/	9401474
Filter pipette tips, 10 μL, low Retention, (short), 1000 tips/pack 滤芯吸头	/	926797

智慧实验室

品名	CAS	货号
RFID-Electronic Digital Scale HCES-05, 20023580mm RFID电子秤HCES-05	/	9410146
Bio-Vanguard long-lasting antimicrobial set for travel, Bio-Vanguard® Disinfectant Spray 50ml * 1 and Bio-Vanguard® Antimicrobial Rinse-free Foaming Hand Sanitizer 50ml * 1 清萨灵®“长效抗菌”旅行套装, 清萨灵®消毒剂 50ml X 1 和清萨灵®泡沫抗菌免水洗手液 50ml X 1	/	9306222
Electrostatic Sprayer, BV-ES02 气溶胶静电喷雾器BV-ES02（背负式电池款 8L）	/	997905

二甲基二氯硅烷：纳米芯片光刻工艺的界面增强解决方案

核心优势

应用场景

耗材

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