甲基丙烯酸（Methacrylic Acid, MAA）是一种多功能丙烯酸酯单体，在光刻胶（Photoresist）配方中发挥着关键作用，尤其适用于半导体制造、微电子封装、MEMS器件等高精度光刻工艺。

1、高反应活性：

    含羧酸（-COOH）和双键（C=C），易于共聚改性可调节显影溶解速率，优化图形对比度

2、优异的显影特性：

    在碱性显影液（如TMAH）中可控溶解

减少残留物，提高图形边缘清晰度

3、热稳定性强：

    耐受高温后烘（PEB, Post-Exposure Bake）减少热变形，提高线宽控制精度。

在光刻胶中的关键应用

1. 化学放大光刻胶（CAR, Chemically Amplified Resist）

    作用机理：

    MAA与光酸产生剂（PAG）协同作用，曝光后羧酸基团（-COOH）在酸催化下脱保护，增强显影液溶解性。

    适用于KrF（248nm）、ArF（193nm）光刻工艺。

    典型配方：

    MAA + 甲基丙烯酸甲酯（MMA） + 丙烯酸羟乙酯（HEA）

分辨率：≤100nm（ArF浸没式光刻）

2. 负性光刻胶（Negative Photoresist）

    作用机理：

    MAA与交联剂（如乙二醇二甲基丙烯酸酯, EGDMA）共聚，形成三维网络结构。

    曝光区域交联固化，未曝光区域可被显影液溶解。

    应用场景：

    MEMS器件微结构加工，封装用厚胶（SU-8替代方案）。

3. 极紫外（EUV）光刻胶

    作用机理：

    MAA提供高EUV吸收率（含氧基团增强光子吸收）。与金属氧化物（如HfO₂）复合，提升灵敏度和分辨率。

    性能表现：

    分辨率：<20nm（适用于5nm以下制程）

    线宽粗糙度（LER）：<2nm

百灵威可稳定供应甲基丙烯酸（CAS 79-41-4），经严格质控，批间稳定性好。现可提供小试样品，助力您的工艺升级！

产品列表如下：

品名	CAS	货号
Methacrylic acid, 99%, stabilized with 250 ppm MEHQ 甲基丙烯酸	79-41-4	280873 危化品

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品名	CAS	货号
Poly(methyl methacrylate) 聚甲基丙烯酸甲酯	9011-14-7	933840
Poly(acrylic acid), average M.W. 240,000, 25 wt.% solution in H2O 聚丙烯酸	9003-01-4	993695
Poly(isobutyl methacrylate), average Mw ~260,000 (GPC) 聚(甲基丙烯酸异丁酯)	9011-15-8	115574
Poly(dimethylsiloxane), hydroxy terminated, M.W. 4200 聚二甲基硅氧烷, 羟基封端	70131-67-8	396669新
Tributylsilane, 99% 三丁基硅烷	998-41-4	508436
Sodium carbonate, 99.5%, reagent grade 碳酸钠	497-19-8	180966
Naphthalene-1,3,6-trisulfonyl chloride, ≥85% 1,3,6-萘三磺酰氯	67294-61-5	9247720
Triethylene glycol dimethacrylate, 95%, stabilized with MEHQ 三乙二醇二甲基丙烯酸酯	109-16-0	917208
1,3,5-Benzenetricarbonyl trichloride, 99%, for synthesis 1,3,5-苯三甲酰氯	4422-95-1	946415
Phenylbis(2,4,6-trimethylbenzoyl)phosphine oxide, 99% 苯基双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)氧化膦	162881-26-7	133604
2,2'-Azoisobutyronitrile 偶氮二异丁腈	78-67-1	614752 危化品
(3-Glycidyloxypropyl)trimethoxysilane, 97%, for synthesis 3-缩水甘油醚氧基丙基三甲氧基硅烷	2530-83-8	903707
N-(3-Dimethylaminopropyl)-N'-ethylcarbodiimide hydrochloride, 99% N-(3-二甲氨基丙基)-N'-乙基碳二亚胺盐酸盐	25952-53-8	211112
N-Hydroxysuccinimide, 98% N-羟基琥珀酰亚胺	6066-82-6	117997
N,N'-Disuccinimidyl carbonate, 99%, reagent grade N.N'-二琥珀酰亚胺基碳酸酯	74124-79-1	992431

耗材

品名	CAS	货号
MCE syringe filter, non-sterile, 25 mm, 0.45 µm, 100 pcs/pack 水系混合纤维素针式过滤器	/	9217639
PES syringe filter, non-sterile, 25 mm, 0.1 µm, 100 pcs/pack 水系PES 针式过滤器	/	9217628

智慧实验室

品名	CAS	货号
Smart Hazardous Chemical Management Cabinet HCA00, Container size: 900 * 500 * 1980mm, internal size: 650 * 420 * 1550mm, volume 423L RFID酸碱柜HCA-400	/	9410144
RFID Management Terminal HCMT-05, 550mm*420mm*485mm RFID管理终端机HCMT-05	/	9410452

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