电子器件薄膜沉积前体材料库-百灵威

专业级CVD/ALD前体组合，含高纯金属有机及无机化合物，适配精密薄膜制备工艺。

本产品组合提供半导体和功能薄膜制造所需的高纯度CVD/ALD前体材料，涵盖过渡金属、稀土元素及III-V族化合物前驱体，满足精密薄膜沉积需求。

化学气相沉积与原子层沉积前体

乙醇钽(V)和五乙氧基铌是优质高k介质前体，适用于介电层沉积。四(二甲氨基)钛(IV)和四(二乙基氨基)铪(IV)具有优异挥发性和热稳定性，是原子层沉积的理想选择。

三(N,N'-二-异丙基甲脒)镧(III)和乙酰丙酮铈提供高纯度稀土金属源。双(μ-二甲氨基)四(二甲氨基)镓和三(二甲胺基)镓(III)二聚体是III-V族半导体沉积的关键前体。六羰基钨和Ni(TMHD)₂适用于金属及导电层沉积。

品名	CAS	货号
Tantalum(V) ethoxide, 99% 乙醇钽(V)	6074-84-6	938530
Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium, 99% (99.99+%-Hf, <0.15% Zr) TEMAH PURATREM 四双(乙基甲基氨)铪(IV	352535-01-4	72-7720
Tris(N,N'-di-i-propylformamidinato)lanthanum(III), (99.999+%-La) PURATREM La-FMD 三(N,N'-二-异丙基甲脒)镧(III)	1034537-36-4	57-1200
Tungsten carbonyl, 99% (<0.3%-Mo) 六羰基钨	14040-11-0	74-2200
Tetrakis(dimethylamino)titanium(IV), 99% TDMAT (99.99%-Ti) PURATREM 四（二甲氨基）钛（IV），99％	3275-24-9	22-2240
Tri-t-pentoxysilanol (99.999%-Si) PURATREM 三(叔-五氧代)硅烷醇	17906-35-3	14-7020^促
Tetrakis(dimethylamino)tin(IV), 99% (99.99%-Sn) TDMASn PURATREM 四(二甲氨基)锡	1066-77-9	50-1815
Niobium(V) ethoxide (99.9+%-Nb) 乙醇铌/五乙氧基铌（安瓿瓶包装）	3236-82-6	93-4104
Bis(μ-dimethylamino)tetrakis(dimethylamino)digallium, 98% 双(μ-二甲氨基)四(二甲氨基)镓, 98%	57731-40-5	31-2030
Cerium(III) acetylacetonate trihydrate, 99% 乙酰丙酮铈三水合物	15653-01-7	582904
Bis(diethylamino)silane, 99% (99.999%-Si) BDEAS PURATREM 双(二乙基氨基)硅烷	27804-64-4	98-8810
Triphenylantimony, 98% 三苯基锑	603-36-1	105370
Tris(dimethylamino)gallium(III) dimer, 98% 三(二甲胺基)镓(III)二聚体	57731-40-5	626076
Tetrakis(diethylamino)hafnium, 99% (99.99+%-Hf, <0.2% Zr) PURATREM 四(二乙基氨基)铪(IV),99%	19824-55-6	72-7750
Tris(cyclopentadienyl)ytterbium (99.9%-Yb) (REO) 三(环戊二烯基),镱(III)	1295-20-1	70-0075
Triphenylarsine 三苯基胂	603-32-7	T0508
Bis(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato)nickel(II), min. 98% (99.9%-Ni) [Ni(TMHD)?] 双(2,2,6,6-甲基-3,5-庚二酮酸)镍(Ⅱ)(99.9％镍)[Ni(TMHD)2]	14481-08-4	28-0088
Gallium(III) acetylacetonate (99.99+%-Ga) PURATREM 乙酰丙酮镓	14405-43-7	93-3130

耗材

品名	CAS	货号
Qualitative filter paper, medium fast, φ12.5cm, 100 pieces/pack 定性滤纸	/	973268
Pipette tips, 10 μL, clear, 1000 tips/pack 移液器吸头	/	920067
304 Stainless Steel Micro Spoon, 220mm, one end spoon, and the other end flat 304不锈钢微量药勺	/	905598

百灵威智慧实验室

品名	CAS	货号
RFID Management Terminal HCMT-05, 550mm420mm485mm RFID管理终端机HCMT-05	/	9410452
Smart Hazardous Chemical Management Cabinet HCA00, Container size: 900 * 500 * 1980mm, internal size: 650 * 420 * 1550mm, volume 423L RFID酸碱柜HCA-400	/	9410144

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