精密薄膜沉积用前体材料（CVD/ALD）
时间: 2025-06-12
作者: 百灵威
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本产品组合提供高纯度CVD/ALD前体材料，涵盖金属有机化合物及无机金属盐，适用于半导体、光电及功能薄膜的精密沉积工艺。
化学气相沉积与原子层沉积前体
叔丁醇锆(IV)和四(二甲基胺基)锆(IV)是优质锆基高k介质前体，具有优异的热稳定性。五(二甲氨基)钽(V)和乙酰丙酮饵(III)适用于高介电常数薄膜的原子层沉积。
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Zirconium(IV) tert-butoxide, 99%, 99.99%-Zr 叔丁醇锆(IV) | 2081-12-1 | 911030 |
| Tris(3-hydroxypropyl)phosphine, min. 84% 三(3-羟基丙基)膦 | 4706-17-6 | 15-6375促 |
| Triphenylborane, min. 95% 三苯基硼烷 | 960-71-4 | 93-0543 |
| Bis(pentamethylcyclopentadienyl)iron, 99% 二环戊二烯基合铁 | 12126-50-0 | 26-0400 |
| Tris(cyclopentadienyl)yttrium (99.9%-Y) (REO) 三(环戊二烯)钇(III), | 1294-07-1 | 39-5000 |
| Tetrakis(ethylmethylamino)silane, 98%, TEMAS N,N',N'',N'''-四乙基-N,N',N'',N'''-四甲基硅烷四胺 | 477284-75-6 | 14-6990 |
| Bis(ethylcyclopentadienyl)magnesium, min. 98% 双(乙基环戊二烯)镁 | 114460-02-5 | 12-0510 |
| Bis(N,N'-di-sec-butylacetamidinato)dicopper(I), 99% 双(N,N-二仲丁基乙脒基)二铜(I) | 695188-31-9 | 29-7100 |
| Tris(i-propylcyclopentadienyl)cerium(III) (99.9%-Ce) (REO) 三(异丙基环戊二烯)铈 | 122528-16-9 | 58-8000促 |
| Tris(cyclopentadienyl)cerium(III) (99.9%-Ce) (REO) 三(环戊二烯)铈 | 1298-53-9 | 58-7500 |
| Tetrakis(dimethylamido)tin(IV), 99.9%, trace metal basis 四(二甲氨基)锡(IV) | 1066-77-9 | 542675 |
| Bis(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato)barium hydrate [Ba(TMHD)?] 双(2,2,6,6,-四甲基-3,5-庚二酮)钡(II)水合物 | 17594-47-7 | 56-8500 |
| Tetrakis(dimethylamino)zirconium(IV), 98% (99.99%-Zr) PURATREM TDMAZ 四(二甲基胺基)锆(IV) | 19756-04-8 | 40-4115 |
| Pentakis(dimethylamino)tantalum(V), min 98% PDMAT 五(二甲氨基)钽(V) | 19824-59-0 | 73-0800 |
| Erbium(III) 2,4-pentanedionate, 99%, hydrate 乙酰丙酮饵(III) | 14553-08-3 | 265933 |
耗材
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| Qualitative filter paper, medium fast, φ12.5cm, 100 pieces/pack 定性滤纸 | / | 973268 |
| Pipette tips, 10 μL, clear, 1000 tips/pack 移液器吸头 | / | 920067 |
| 304 Stainless Steel Micro Spoon, 220mm, one end spoon, and the other end flat 304不锈钢微量药勺 | / | 905598 |
百灵威智慧实验室
| 品名 | CAS | 货号 |
|---|---|---|
| RFID Management Terminal HCMT-05, 550mm*420mm*485mm RFID管理终端机HCMT-05 | / | 9410452 |
| Smart Hazardous Chemical Management Cabinet HCA00, Container size: 900 * 500 * 1980mm, internal size: 650 * 420 * 1550mm, volume 423L RFID酸碱柜HCA-400 | / | 9410144 |
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